用于300mm晶圆工艺的卧式高产能系统

 

特征及优势

• 大气压加工、等离子增强化学气相沉积加工与低压化学气相沉积加工
• 能提供任选加工腔方案
• 先进的水冷却系统保证不同的工艺炉管之间无热干扰
• 模块化部件设计，便于在洁净室内安装与启动生产

适合工艺：

• 退火
• 扩散
• 氧化
• 低压化学气相沉积
• 等离子增强化学气相沉积