专为大批量生产和研发设计的系统

 

特征及优势

• 最高工艺温度可达650 °C
• 极好的温度均匀性
• 真空度最高可达到10-5 mbar
• 升温速率可达40k/min
• 冷却速率可达180k/min
• 高产能
• 大型工艺加工面积: c.VACUNITE 180: 0.66 m2 (1 in.2: c.VACUNITE 180: 1.1 m2 (1.7 in.2)

典型应用：

• 大功率半导体器件
• 光电封装
• 气密封装
• 晶片级封装
• UHB LED 封装