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c. VERTICOO 200
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Centrotherm产品
Centrotherm 扩散炉/LPCVD
c.VERTICOO 200

立式晶圆加工系统

 

特征及优势
  • 每批加工量多达150片晶圆
  • 自对准
  • 双舟输送
  • 水冷加热集成一体
  • 可以并排安装
  • 占地面积小
典型应用：
  • 退火
  • 扩散
  • LPCVD（低压化学气相沉积）
  • 氧化

 

          
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