小批量生产晶圆热加工

 

适合工艺：

• 大气压加工
• 退火
• 氧化
• 扩散
• LPCVD（低压化学气相沉积）
• PECVD（等离子增强化学气相沉积）

典型应用：

• MOS
• VCSEL
• 双极型晶体管
• 分立式半导体
• 功率半导体
• MEMS
• 光伏器件
• 光电子器件