日本Yamato科学和上海驰舰半导体科技联合推出一款用于晶圆聚酰亚胺、光刻胶烘干固化烘箱，最高温度可以到达500度，氧气浓度控制在20ppm，每次运行0.3微米颗粒控制在50个以下，和扩散炉相比，是一种性价比极高选择。
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