半导体机械手翻新维修

驰舰科技为各类半导体机械手及控制器提供第三方翻新与维修服务。团队具备丰富的多品牌维修经验,覆盖晶圆传输自动化主流机型。

覆盖品牌与机型

维修中心支持以下品牌机械手及控制器的检测、维修、翻新与调试。

MECS
UTX1000P / UTX1100 / UTX1200P / UTC800 / UTC801P / OF250 Aligner
Brooks
Aligner / MagnaTran 7
Rorze
RR700 / RR701 / RR711 / RR304
PRI / Equipe
ATM-100 / ATM-105 / ATM-205 / ATM-305 / ATM-405 / ATM-407 / ABM405 / VAC-407 / ESC200 / ESC212
Kensington
WFH4C / WFH4D / WFH3C / WFH3D / M4000
Hine Automation
HA-5.0 Vacuum / HAtm-5.0 Atmospheric
Genmark
GB4 / GB4P / Controller 系列
ISEL / Logosol
各型号机械手维修与翻新