CT-BW 2009 燃烧水洗系统

新针对高毒性气体的模块化腔体系统

　　CT-BW 2009系列消除废气点系统作为一种高性能系统应用于光伏、半导体 以
及其它相关行业的CVD和刻蚀等领域。
伴随着具有腐蚀性气体和逐渐增加的气体负荷的新工艺引进，废气减排技术 需要
进一步改善。CT-BW 2009系列满足此要求。CT-BW 2009系列享有全部的优 点，例如
PVC和其它气体高清洗效率，源于 CVD和刻蚀工艺全部废气的可靠减排， 所选择的
不同燃气均符合所有国际化安全标准。该系统设计满足抗最大腐蚀并且 处理大量附带
的固体反应物
直立的气体进口和有可选温度管理的排风配置使得气体的流通效果达到最好。 独
立的功能部件诸如燃烧腔体，湿式洗涤器，水箱和冷却系统使得危险等堵塞最小 化。
这些特点使维修时间间隔长和最大正常工作时间有了保证。

• 规格
• 独立的电器柜
  可达四组独立的CT-BW单元
  所有媒介如N2，天然气，H2O,O2.CDA等仅需要一个入口
  机械过滤装置
  方便快速维修
  即将具备的特点：
  综合CT-D,CT-W,CT-BW和CT-BW EPI 于一个柜子内
  安全系统符合国家化标准：
  SEMI S2,S8,S14;NFPA79:2007;EN60204-
  1:2006;MD2006/EC/42-Annex I:2006;
  去除有害物质效率>99.9X%
  基于新式反应腔顶板设计，具有抗高腐蚀性
  具备减少噪音的新式外壳
  承受压力变化的副燃烧室
  触摸屏具有帮助文本,易于操作和维修
  为了防止堵塞，每个入口提供单独的可调节温度的加热套
  触摸屏上的洗涤液的流量传感器可以显示预防维护