产品中心
冷泵及压缩机
- Austin Cryo-Plex 10 低温泵/冷泵
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考虑全面的高效设计，使得Cryo-Plex 10低温泵可以实现两倍于8寸低温泵的抽速，是理想的洁净、无油高真空排气方案 标准应用：半导体、空间环境模拟、真空镀膜以及各种研发领域
- Austin Cryo-Plex 8 低温泵/冷泵
- 在生产或者研发领域里的洁净、无油的高真空系统，Cyro-Plex8低温泵是标准配置，且价格优惠。
- Austin Cryo-Plex 8LP 低温泵/冷泵
- 在部分半导体生产设备里，低温泵的安装收到空间限制，此时Cryo-Plex 8LP 低温泵是很好的选择
- Austin Cryo-Plex 16 低温泵/冷泵
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对需要洁净、无油的高真空排气方案的大型箱式镀膜、空间模拟、电子束沉积等诸多应用来说， Cryo-Plex 16 低温泵是一个典型配置。
冷泵及压缩机
- M125 氦气压缩机
- 驱动单台8寸低温泵
- M400 氦气压缩机
- 可同时驱动两台8寸低温泵或单台10寸低温泵
- M600 氦气压缩机
- 可同时驱动3台8寸低温泵，或2台10寸低温泵，或1台16寸低温泵
冷泵及压缩机备件
Cryogenic Vacuum Pump Repair Parts- Helium Regulator
- Helium Regulator
P/N HR-580
- Purge Gas Heater
- PGH100, LV P/N 10340
PGH100, HV P/N 99-00007-220
- Purge Gas Valve
- PGV-115 P/N 10185
PGV-220 P/N 99-00006-220
PGV-24 AC Voltage P/N 99-00006-024
PGV-24 DC Voltage P/N 99-00038-024
PGV-115-UHV PGV-115-UHV
- Blanket heaters:Improve regeneration time with heat
- BH-100 CT-100
BH-8 CP/CT-8 CT-
BH-8F 8F/CP-8LP
BH-10 CP-10/CT-10
BH-16 CP-16/CT-400
- Roughing Valve&Burst Disc
- PAV-075-CP P/N 10191
220V PAV-075-CP P/N 99-00011-002
Full UHV/CF P/N 10329 1.33 Mini Conflat P/N BD-133
- Austin、CTI冷泵及压缩机备件：
- Helium Regulator
- Purge Gas Heater
- Purge Gas Valve
- Blanket heaters:Improve regeneration time with heat
- Roughing Valve&Burst Disc