首页产品中心Centrotherm 产品

JEL ROBOT


 

超清洁室用多轴型, 4轴水平多关节型清洁机械手GCR4000-AM系列。
适用于支持300mm的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运。

 

    · 机械手臂标准臂长:210mm

     

    · 机械手臂可以单独对应2个FOUP

     

    · Z轴(升降轴)标准长度:300mm

     

    · 可搬运重量:手臂第3关节处基准4kgf以下

     

    · 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式

     

    · 配备动作监视器

     

    · 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

     

    · 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机

     

    · S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运玻璃基板

     

    · AC伺服电机的采用以及,对运动轨迹的优化实现了搬运动作的高速化, 比GHR4000类型速度快了1.8倍

     

    · 晶圆固定方式:真空吸附式, 下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式

     

    · 手指材质:CFRP(碳纤维), 铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

     

    · 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指

首页产品中心Centrotherm 产品