超清洁室用多轴型, 4轴水平多关节型清洁机械手GCR4000-AM系列。
适用于支持300mm的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运。

 

· 机械手臂标准臂长:210mm

 

· 机械手臂可以单独对应2个FOUP

 

· Z轴（升降轴）标准长度:300mm

 

· 可搬运重量:手臂第3关节处基准4kgf以下

 

· 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式

 

· 配备动作监视器

 

· 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

 

· 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机

 

· S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板

 

· AC伺服电机的采用以及，对运动轨迹的优化实现了搬运动作的高速化， 比GHR4000类型速度快了1.8倍

 

· 晶圆固定方式：真空吸附式, 下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式

 

· 手指材质：CFRP（碳纤维), 铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

 

· 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指