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Verticoo200-批量生产立式炉

真空焊接炉vlo20

Verticoo 200

批量生产立式炉

 

verticoo 200 设计用于大量生产,具有产量最大化、灵活性高等特点,适用于所有标准大气压和低压 CVD 工艺。带双工艺舟处理的单管装置可降低处理时间、购置成本和维护成本。

 

每批最高达150硅片
自动对准
双工艺舟处理
水冷加热箱
占用空间小
可进行并排安装

 

 

 

 

 

 

 

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