Verticoo 200

批量生产立式炉

verticoo 200 设计用于大量生产，具有产量最大化、灵活性高等特点，适用于所有标准大气压和低压 CVD 工艺。带双工艺舟处理的单管装置可降低处理时间、购置成本和维护成本。

每批最高达150硅片
自动对准
双工艺舟处理
水冷加热箱
占用空间小
可进行并排安装