考虑全面的高效设计,使得Cryo-Plex 10低温泵可以实现两倍于8寸低温泵的抽速,是理想的洁净、无油高真空排气方案。
标准应用:半导体、空间环境模拟、真空镀膜以及各种研发领域
配置灵活
支持ANSI、ISO、CF等多种法兰接口
用一台M600氦气压缩机可以同时驱动单台或者两台Cryo-Plex10 低温泵,从而节省空间、电能和维护工作。对于需要多台低温泵的大型真空室,是非常理想的选择。
标准设计
Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换,从而大大方便使升级、维修、交换等服务。
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参数 |
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Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second |
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Air |
3,000 |
Water |
9,000 |
Hydrogen |
5,000 |
Argon |
2,500 |
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr |
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Hydrogen |
24 |
Argon |
2,000 |
Throughput |
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Argon sccm |
1,500 |
Crossover |
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Torr-liters |
300 |
Cool down time |
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60 Hertz |
60 Min |
Cryopump measurements |
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Height |
23.9" |
Weight LBS |
85 |
Inlet flange |
ANSI/ISO/CF |
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* 驰舰科技保留随时根据需要对产品规格进行修改的权利, 恕不事先通知。
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