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Cryo-Plex 16 低温泵

真空焊接炉vlo20

考虑全面的高效设计,使得Cryo-Plex 10低温泵可以实现两倍于8寸低温泵的抽速,是理想的洁净、无油高真空排气方案。

 

标准应用:半导体、空间环境模拟、真空镀膜以及各种研发领域

配置灵活

支持ANSI、ISO、CF等多种法兰接口

用一台M600氦气压缩机可以同时驱动单台或者两台Cryo-Plex10 低温泵,从而节省空间、电能和维护工作。对于需要多台低温泵的大型真空室,是非常理想的选择。

标准设计

Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换,从而大大方便使升级、维修、交换等服务。

 

 

 

参数 
Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second  
Air 3,000
Water 9,000
Hydrogen 5,000
Argon 2,500
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr  
Hydrogen 24
Argon 2,000
Throughput  
Argon sccm 1,500
Crossover  
Torr-liters 300
Cool down time  
60 Hertz 60 Min
Cryopump measurements  
Height 23.9"
Weight LBS 85
Inlet flange ANSI/ISO/CF

 

 

 

* 驰舰科技保留随时根据需要对产品规格进行修改的权利, 恕不事先通知。

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