对需要洁净、无油的高真空排气方案的大型箱式镀膜、空间模拟、电子束沉积等诸多应用来说，Cryo-Plex 16 低温泵是一个典型配置。
灵活配置
ISO、CVC等法兰接口
标准设计
Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换，从而大大方便使升级、维修、交换等服务。
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| 参数 |
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| Cryo-Plex 16 - Gas pumping speeds liters/second |
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| Air |
5,000 |
| Water |
16,000 |
| Hydrogen |
5,000 |
| Argon |
4,200 |
| Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr |
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| Hydrogen |
15 |
| Argon |
2,500 |
| Throughput |
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| Argon sccm |
500 |
| Crossover |
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| Torr-liters |
300 |
| Cool down time |
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| 60 Hertz |
120 Min |
| Cryopump measurements |
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| Height |
24 " |
| Length |
22.6" |
| Inlet flange |
ISO/CVC |
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* 驰舰科技保留随时根据需要对产品规格进行修改的权利， 恕不事先通知。
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