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Cryo-Plex 8LP 低温泵

真空焊接炉vlo20

在部分半导体生产设备里,低温泵的安装收到空间限制,此时Cryo-Plex 8LP 低温泵是很好的选择。

典型应用:溅射、离子注入、表面分析、粒子加速器、研发型的钟罩式系统,以及其他的真空系统

 

 

标准设计

Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换,从而大大方便使升级、维修、交换等服务。

灵活配置

ANSI、ISO、CF等多种法兰接口

 

 

参数 
Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second  
Air 1,500
Water 4,000
Hydrogen 2,200
Argon 1,200
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr  
Hydrogen 12
Argon 1,000
Throughput  
Argon sccm 700
Crossover  
Torr-liters 150
Cool down time  
60 Hertz 90 Min
Cryopump measurements  
Height 7.03"
Length 22.6"
Inlet flange ANSI/ISO/CF

 

 

 

* 驰舰科技保留随时根据需要对产品规格进行修改的权利, 恕不事先通知。

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