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E1200-用于科研的卧式炉

真空焊接炉vlo20

centrotherm E1200专为用于科研项目而设计的,适用于小批量生产和高性能用户,对各种要求的高工艺具有的灵活性。

centrotherm E1200小批量实验室系统,支持多种工艺能力,适用小批量生产和高性能用户,在较小占地面积上即可提供批量生产的所有特征

 

适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺
特殊工艺腔体3或4种版本可供选择
先进的冷却系统:不同炉管之间没有热干扰
全自动片架传送系统
模块化部件设计,便于在洁净室安装调试

  • 可达5层石英管或SiC管反应腔[硅片可达200mm]
    可选择工艺腔体
  • 洁净自动化的装舟用于特级硅片工艺或其它衬底处理
  • 全自动片架传送系统,工艺硅片尺寸可达200mm(E2000)
  • 先进的冷却系统: 不同炉管之间没有热干扰
  • 对洁净室环境温度无影响
  • 模块化部件设计便于在洁净室安装调试

 

 

 

 

 

 

 

* 驰舰科技保留随时根据需要对产品规格进行修改的权利, 恕不事先通知。

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